• 海宏达氮气气体质量流量控制器MFC

    详细信息

     加工定制:是  品牌:海宏达  型号:MFC  
     测量范围:0-100  测量精度:0.1%  显示方式:液晶  
     工作环境:-20℃~50℃    

    氩气气体质量流量计
    气体质量控制器

    1、用途和特点
    气体质量流量控制器(Mass Flow Controller )用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。

    质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等(可以使用在高压及真空系统)特点。操作使用方便,可任意位置安装,配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用,也可直接同计算机实现RS-232 连接,非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质量流量计使用。配合流量显示仪对气体的瞬时流量和累积流量进行精确测量和控制。
    2、气体质量流量控制器的命名方法
    本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 SJ37以及中华人民共和国国家计量技术规范JJF 1246-2010 所规定的通用技术条件和命名方法。本技术说明书为气体质量流量控制器的使用说明书。
    3、主要技术指标:

    序号 项目 内容
    流量范围 0510203050100200300500 SCCM
    01235100200300 SLM
    2 准确度 ±1%F.S   /  ±2%F.S
    3 控制范围 2%~100%F.S  /  0%~100%F.S
    4 线性 ±(0.52)%F.S  /  ±(0.51)%F.S
    5 重复精度 ±0.2%F.S
    6 响应时间 电特性:<10  /  气特性:<14
    7 工作压差范围 0.050.3Mpa
    8 耐压 310Mpa
    9 工作环境温度 565
    10 输入输出信号电压 0+5.00VDC    4~20mA
    11 电源 +15V  50mA,-15V  50mA
    12 外形尺寸 130*28*121mm
    13 重量 1.0  /  1.5kg
     

    注意:
    质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
    质量流量的单位规定为:   SCCM (标准毫升/分);
    SLM (标准升/分)
    标准状态规定为:         温度 ---273.15K ( 0℃ );
    气压 —- 101325 Pa (760mm Hg)
    F.S (Full Scale):       满量程值
    青岛海宏达仪表设备有限公司提供本产品全面的技术支持和售后服务!

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